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  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "Lithography".ekeyword (精準) and year="111"


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    探討數位微影系統中之影像畸變與補償
    • 自動化及控制研究所 /111/ 碩士
    • 研究生: 黎人維 指導教授: 郭鴻飛
    • 在數位微影製程中,像差對半導體和微機電系統製造品質的影響至關重要, 因此,有效地校正由數位微影系統產生的畸變是提升製程良率的重大研究議題。 在本篇研究中,我們深入探討數位微影系統的畸變補償問題,並提…
    • 點閱:385下載:0
    • 全文公開日期 2025/08/07 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/08/07 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/08/07 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    光源設計與子光罩圖案選取與協同優化程序開發
    • 自動化及控制研究所 /111/ 碩士
    • 研究生: 薛德義 指導教授: 郭鴻飛
    • 近年對於晶片的需求大幅增長,而其電路設計圖案依賴於微影技術將其轉印至矽基板上,並且隨著關鍵尺寸(Critical Dimension)的日漸微縮、單位面積下所容納的電路圖案增多以及晶片尺寸增大的趨勢…
    • 點閱:246下載:0
    • 全文公開日期 2025/08/03 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/08/03 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/08/03 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    具有多行樣板的層狀定向自組裝模板 設計和佈局分解
    • 電機工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 蔡昀娜 指導教授: 方劭云
    • 點閱:205下載:0
    • 全文公開日期 2025/01/03 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/01/03 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/01/03 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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